Наноелектромеханічні системи
Наноелектромехані́чні систе́ми або НЕМС — пристрої та технології, що поєднують в собі електронні і механічні компоненти розміром до 100 нм.
Основні параметри
Наноелектромеханічні системи є наступним кроком мінітюарізаціі для мікроелектромеханічних систем.
НЕМС використовуються як високочастотні осцилятори (до 10 ГГц), наномотори і модулятори.
Як матеріали для виготовлення НЕМС широко використовуються графен і вуглецеві нанотрубки.
Сучасний стан
В даний час, наноелектромеханічні системи можуть виготовлятися як методами зверху-вниз, до яких відносяться традиційні методи мікроелектроніки (оптична та електронно-променева літографія), так і методами знизу-вгору, такими як молекулярне розпізнавання і самоскладання.
Примітки
This article is issued from Wikipedia. The text is licensed under Creative Commons - Attribution - Sharealike. Additional terms may apply for the media files.